半導(dǎo)體激光雕刻機(jī)的晶體棒的清潔方法

    晶體棒端面的清潔

1、  要求在潔凈環(huán)境中操作；

2、  操作前保證模塊斷水?dāng)嚯姡?/SPAN>

3、  要求有靜電保護(hù)；

4、  帶指套操作；

5、  先擰開一邊鍍金晶體棒固定端蓋，用酒精棉按光學(xué)規(guī)程清潔；

6、  擰緊鍍金晶體棒固定端蓋。確保不漏水；

7、  用同樣的方法清潔晶體棒的另一端面，并擰緊鍍金晶體棒固定端蓋，確保不漏水；

8、  不要同時(shí)擰開晶體棒兩端固定端蓋做清潔，以免晶體棒滑落。

    晶體棒側(cè)面的清潔

1、  操作注意事項(xiàng)同晶體棒端面清潔；

2、  擰開兩邊鍍金晶體棒固定端蓋，取下一端半透明0圈，從另一端取出晶體棒。再取下棒上另一個(gè)半透明0圈；

3、  取下零部件放在水到清潔容器內(nèi)；

4、  用酒精棉按光學(xué)規(guī)程晶體棒側(cè)面；

5、  在棒一端裝上一個(gè)半透明0圈，小心將棒裝回模塊；

6、  裝上另一個(gè)半透明0圈；

7、  使棒在模塊的中間位置；

8、  擰上一邊鍍金晶體棒固定端蓋；

9、  按晶體棒端面的清潔方法清潔另一端；

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